Magnetic shield 사업부(OHTAMA)
액티브 자기 실드(자기장 캔슬러)
최근, 전자 빔 장치의 고성능화는 두곽되면서, 자계 허용치는 점점 엄격해 지고 있습니다.액티브 자기 실드(자기장 캔슬러)는 외부의 변동 자계를 3축 자계 컨트롤러를 이용해 고감도로 검출하고, 그것을 차폐시키는 자계를 XYZ의 3축으로 구성되는 헬름홀츠 코일에서 발생시켜, 코일 내부의 자계 변동을 제어하고, 안정시키기 위해서 이용하는 자계 발생기입니다. 본제품을 도입함으로써, 자계 환경이 현저하게 불안정한 장소에서도 전자빔 장치의 성능을 충분히 발휘하는 것이 가능해집니다.
차폐 코일을 장치의 프레임에 설치하는 것도 가능합니다.반도체 계측·검사 장치 등의 설치 구역을 크게 할당할 필요가 없습니다.
Information
액티브 자기 실드(자기장 캔슬러)
코일 설치 방법은 건물 매립형, 챔버 내 설치형, 후시공(현장 설치)의 3가지가 있습니다.
- 현장 설치 속도가 빠르다
- 전자빔 장치의 조작성을 방해하지 않는다.
- Low Cost(적은 비용)
- 미관이 뛰어나다
- 자유롭게 사이즈 변경 가능 (차폐 코일을 장치의 프레임에 실장하는 것도 가능)
| 주요 용도 | · 전자현미경(TEM/SEM) · 전자빔 마스크 그리기 장치 · 마스크 검사 장치 · 질량 분석기 · 집속 이온 빔 장치(FIB) |
|---|---|
시공 방법
코일 설치 방법은 건물 매립형, 챔버 내 설치형, 후시공(현장 설치)의 3가지가 있습니다.
성능
| 독립형 CA-4000 | 저소음형 CA-3200 | |
|---|---|---|
| 용도 | SEM/3D프린터 등 | 실드룸내 |
| 대응 주파수 | 0Hz～1kHz | 0Hz～720Hz |
| 최대 대응 변동 자계 | 150mG (15μT) | 50mG (5μT) |
| 감쇠율 | 최대60dB | 최대60dB |
| 제어 범위 | ±150 μT | ±70μT |
| 센서 방식 | 플럭스게이트방식(분해능:5nT) | 플럭스게이트방식(분해능:1nT) |
